高純氣體是氣體工業名詞，通常指利用現代提純技術能達到的某個等級純度的氣體。對于不同類別的氣體，純度指標不同，高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。高純氣體根據分子結構的不同可以分為有機高純氣體，和無機高純氣體.
序號 | 氣體名稱 | 純度/% | 主 要 用 途 |
1 | 純氬Ar | ≥99.99 | 冶煉、切割、焊接、電子工業 |
2 | 高純氬Ar | ≥99.999 | 電子管、特種燈泡、真空技術、ICP發射光譜儀 |
3 | 純氮N2 | ≥99.99 | 化工、冶金、電子工業 |
4 | 高純氮N2 | ≥99.999 | 科研、電子、機械行業、色譜儀、載氣 |
5 | 純氫H2 | ≥99.99 | 金屬冶煉、焊接、國防工業 |
6 | 高純氫H2 | ≥99.999 | 電子工業、石油化工、色譜儀、載氣 |
7 | 純氦He | ≥99.99 | 電子工業、潛水呼吸 |
8 | 高純氦He | ≥99.999 | 色譜儀載氣、電子工業 |
9 | 工業氧O2 | ≥99 | 鋼材焊接、火焰加工 |
10 | 高純氧O2 | ≥99.95 | 標準氣體的制備、集成電路、科學研究 |
11 | 工業氫H2 | ≥99 | 石油、油脂加氫、人造寶石、石英玻璃制造、金屬切割 |
12 | 純氙Xe | ≥99.99 | 電光源工業、醫療、電真空、激光行業 |
13 | 高純氙Xe | ≥99.999 | |
14 | ≥99.99 | 電光源工業、電真空工業 | |
15 | 高純氪Kr | ≥99.999 | |
16 | 純氖Ne | ≥99.99 | 電光源工業 |
17 | 液體二氧化碳CO2 | ≥99.9 | 化工、焊接、制冷、化纖、農業、食品添加劑 |
18 | 高純二氧化碳CO2 | ≥99.999 | 標準氣體的制備 |
19 | 二氧化硫SO2 | ≥99.9 | 醫藥、科研、制革、排放源檢測 |
20 | 硫化氫H2S | ≥99.9 | 標準氣制備、等離子干刻 |
21 | 一氧化碳CO | ≥99.9 | 標準氣制備、滲碳、標準氣及混合氣裝備 |
22 | 甲烷CH4 | ≥99.9 | 低溫液體洗滌劑標準氣及混合氣制備 |
23 | 乙炔C2H2 | ≥99 | 金屬焊接、切割、加熱燃料、有機產品原料 |
24 | 丙烷C3H6 | ≥99.9 | 石油化工、醫學檢驗、標準氣體的制備 |
25 | 乙烯C2H4 | ≥99.9 | 乙烯、丙烯成分分析標準氣體的制備 |
26 | 丙烯C3H6 | ≥99.9 | |
27 | 乙硼烷B2H6 | ≥99.995 | 半導體器件制造中的重要P型摻雜源 |
28 | 磷烷PH3 | ≥99.999 | 半導體器件制造中的重要N型摻雜源 |
29 | 砷烷AsH3 | ≥99.999 | N型摻雜源 |
30 | 硅烷SiH4 | ≥99.999 | 用于制備高純多晶硅 |
