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科技部“微納電子制造用超高純電子氣體”專項啟動會在浙江召開
2020-06-20

氣體圈子11月11日訊，國家科技部重點研發專項——“微納電子制造用超高純電子氣體”項目啟動會昨日在浙江衢州召開。國家科技部高技術中心材料處專項主管楊斌向獲得國家...

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